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美國物理學聯合會《科學之光》專訪報道 我校碳化硅歐姆接觸高溫熱穩定性研究成果

發布日期: 2020-05-17  作者:    瀏覽次數: 487 


美國物理學聯合會《科學之光》專訪報道

我校碳化硅歐姆接觸高溫熱穩定性研究成果


近日,上海師范大學數理學院碩士研究生高萌萌和姜舒月(均已畢業)在碳化硅歐姆接觸高溫熱穩定性研究中取得重要進展中国足球国家队比赛赛程---中国足彩网,相關成果“In situ XPS spectroscopic study of thermal stability of W/Ni bilayer Ohmic contact to n-type 4H-SiC”發表在《應用物理學報》(Journal of Applied Physics)中国足球国家队比赛赛程---中国足彩网,并作為精選文章(Featured Article)展示在期刊主頁上,同時美國物理學聯合會《科學之光》(AIP Scilight)以“Understanding the thermal stability of Ohmic contacts”為題對該工作進行了專訪報道。論文的通訊作者是陳之戰研究員和曹鐸博士。

根據Ni基碳化硅歐姆接觸的特點,作者設計了W/Ni雙金屬層體系,快速退火后形成WCNi2-xWxSi歐姆接觸層中国足球国家队比赛赛程---中国足彩网。原位X射線光電子能譜研究表明,在老化期間接觸層如同緩釋膠囊一樣發生一定程度的分解,持續不斷地釋放W、Ni、Si原子并隨之與擴散到接觸層的氧氣反應,而位于界面處的WC也與氧氣發生反應中国足球国家队比赛赛程---中国足彩网,成為保護歐姆接觸的最后一道屏障。與傳統的Ni基歐姆接觸相比,W層的引入減少了老化過程中氧氣向界面的擴散,極大地提高了4H-SiC歐姆接觸的熱穩定性中国足球国家队比赛赛程---中国足彩网,使得碳化硅器件能夠在300?C的高溫下長期工作成為可能。這一研究結果為碳化硅基器件的歐姆接觸設計提供了新的思路,在科學研究領域和工業應用領域都具有重要的意義中国足球国家队比赛赛程---中国足彩网。

研究工作得到國家自然科學基金委員會與中國工程物理研究院聯合基金資助(U1830114)。

《科學之光》創辦于20176月,由美國物理學聯合會出版,目的是簡要的、及時的以及科普的報道物理學領域的最新重要進展,幫助作者擴大成果的受眾面和影響力。主要關注對象是AIP出版的科學研究論文,包括介紹論文的背景,論文的新穎性,以及論文的影響力。

論文原文:“In situ XPS spectroscopic study of thermal stability of W/Ni bilayer Ohmic contact to n-type 4H-SiC,” by Meng-meng Gao, Shu-yue Jiang, Duo Cao, and Zhi-zhan Chen, Journal of Applied Physics (2020).

論文鏈接:https://aip.scitation.org/doi/10.1063/5.0002560

 Scilight新聞報道:https://aip.scitation.org/doi/full/10.1063/10.0001222



 
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